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硅烷混合气 (SiH
4
/Balance)
氨气 (NH
3
)
四氟化碳(CF
4
)
三氟甲烷(CHF
3
)
六氟乙烷(C
2
F
6
)
八氟环丁烷(C
4
F
8
)
氯化氢(HCl)
氧化亚氮(N
2
O)
硅烷(SiH
4
)
四氟化硅(SiF
4
)
六氟化硫(SF
6
)
一氧化碳(CO)
二氧化碳(CO2)
一氟甲烷(CH3F)
二氟甲烷(CH2F2)
羰基硫(COS)
甲烷(CH
4
)
乙烯(C
2
H
4
)
乙烷(C
2
H
6
)
正丁烷(C
4
H
10
)
异丁烷(i-C
4
H
10
)
丙烯(C
3
H
6
)
丙烷(C
3
H
8
)
正丁烯(n-C
4
H
8
)
异丁烯(i-C
4
H
8
)
1、2丁二烯(1.2-C
4
H
6
)
1，3丁二烯(1.3-C
4
H
6
)
顺二丁烯(Cis-2-C
4
H
6
)
反二丁烯(Tans-2-C
4
H
6
)
新戊烷(Neopetane)
氩气(Ar)
氢气(H
2
)
氮气(N
2
)
氧气(O
2
)
氖气(Ne)
氙气(Xe)
氦气(He)
氘气(D
2
)
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