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硅烷 (SiH4) |
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 无色、有毒、非常活跃的压缩气体，在空气中自燃。
| 分子量 |
32.11
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| 标准体积 |
12.1 cf/lb@NTP
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临界温度 |
25.8 °F
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| 沸点 |
-168.7°F (-111.5°C)
@1 atm
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临界压力 |
702.5 psia
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| 危险 |
吸入和自燃
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| 气瓶材质 |
铝和铁合金
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DOT 标签
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安全资料 |
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DOT危险等级
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2.1
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ACGIH-TLV: 5 ppm |
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UN No.
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UN 2203
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比重（Air=1）
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1.2
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CAS No.
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7803-62-5
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气体密度
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0.084 cf@NTP
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容器规格
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DOT 规格
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容器尺寸
(in.) (cm)
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平均重量
(lbs) (kg)
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平均容积
(ft3) (L)
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充装量
(lbs) (kg)
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200
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3AA2265
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9×51 23×130
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119 54
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1.55 (43.9)
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22 10
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级别
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ELECTRONIC
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VLSI
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METAL
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纯度
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99.999%
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99.9999%
|
Al
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5 ppb
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氮气
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< 0.2 ppm
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0.1 ppm
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As
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0.5
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氧气
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< 0.2 ppm
|
< 0.1 ppm
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B
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0.3
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总烃
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< 0.2 ppm
|
< 0.1 ppm
|
Ca
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10
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二氧化碳
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< 0.2 ppm
|
< 0.1 ppm
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Cd
|
2
|
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一氧化碳
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< 0.2 ppm
|
< 0.1 ppm
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Co
|
2
|
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水
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< 0.2 ppm
|
< 0.1 ppm
|
Cr
|
5
|
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氩气
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< 0.2 ppm
|
< 0.1 ppm
|
Cu
|
1
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Chlorosilanes
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< 0.2 ppm
|
< 0.1 ppm
|
Fe
|
2
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氦气
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< 10 ppm
|
< 10 ppm
|
K
|
1
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氢气
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< 30 ppm
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< 20 ppm
|
Mg
|
10
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乙硅烷
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< 0.2 ppm
|
< 0.1 ppm
|
Mn
|
10
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Siloxanes
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< 0.2 ppm
|
< 0.1 ppm
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Na
|
1
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电阻率 （ohm/cm）
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> 10,000
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> 10,000
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Ni
|
1
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颗粒
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10 pcs/cu.ft > 0.1
um
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10 pcs/cu.ft > 0.1
um
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P
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0.5
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U
|
1
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瓶阀材质
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316L SS
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316L SS
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Zn
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10
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CGA/DISS/JIS 阀门型号
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350/632/JIS
|
350/632/JIS
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Sb
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10
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硅烷(SiH4)
安全须知：
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硅烷是一种无色、与空气反应、有窒息性的气体。遇空气燃烧，放出浓密的二氧化硅白烟。硅烷主要的健康危害就是因接触硅烷自燃产生的热量而导致严重的热灼伤。高温撞击气瓶的某一部位可能导致气瓶在没有触动释放装置的情况下爆炸。如果高压或高流量释放硅烷，可能会听到延迟的爆炸声。释放出来没有燃烧的硅烷也是相当危险的，不要试图接触。紧急救护必须配备个人防护设备和放火措施。不要在切断气源之前试图灭火。
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