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四氟化硅 (SiF4) |
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 剧毒、无色、不燃烧的压缩气体，带有可察觉到的气味。水解生成氢氟酸。液化瓶装气体，压力为其蒸气压(680.46
kgf/cm2 @21.1°C)。
| 分子量 |
104.08
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蒸气压 |
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| 标准体积 |
3.69 cf/lb@NTP
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温度（Deg. °F）
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压力（psia）
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| 沸点 |
-138.6°F(-94.8°C) @1 atm
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32
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| 危险 |
剧毒，对组织有强刺激和腐蚀
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70
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985.30
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| 气瓶材质 |
不锈钢
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DOT 标签
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白色，吸入危险；黑色和白色，腐蚀性有毒气体。
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安全资料 |
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DOT危险等级
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2.3
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ACGIH：TWA: 3 ppm ceiling
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UN No.
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UN 1859
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IDLH： 20 ppm
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CAS No.
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7783-61-1
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比重（Air=1）
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3.6
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气体密度 |
0.271 lb/ cf @NTP
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容器规格
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DOT 规格
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容器尺寸
(in.) (cm)
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平均重量
(lbs) (kg)
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平均容积
(ft3) (L)
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充装量
(lbs) (kg)
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200
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3AA2265
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9×51 23×130
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119 54
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1.55 (43.9)
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50 22.7
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成分
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规范
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单位
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| SiF4
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≥
|
99.9% |
%V |
| Air |
≤
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400 |
ppmv |
| CO2 |
≤
|
400 |
ppmv |
| CO |
≤
|
150 |
ppmv |
|
成分
|
|
规范
|
单位
|
| SiF4
|
≥
|
99.995% |
%V |
| O2 |
≤
|
5 |
ppmv |
| N2 |
≤
|
20 |
ppmv |
| CO |
≤
|
1 |
ppmv |
| CO2 |
≤
|
20 |
ppmv |
| THC(CH4) |
≤
|
1 |
ppmv |
| H2 |
≤
|
2 |
ppmv |
| H2S |
≤
|
1 |
ppmv |
| SO2 |
≤
|
1 |
ppmv |
|
成分
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规范
|
单位
|
| SiF4
|
≥
|
99.999% |
%V |
| O2 |
≤
|
0.5 |
ppmv |
| N2 |
≤
|
4 |
ppmv |
| CO |
≤
|
0.1 |
ppmv |
| CO2 |
≤
|
3 |
ppmv |
| THC(CH4) |
≤
|
1 |
ppmv |
| H2 |
≤
|
1 |
ppmv |
| H2S |
≤
|
0.1 |
ppmv |
| SO2 |
≤
|
0.1 |
ppmv |
四氟化硅(SiF4)
安全须知：
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四氟化硅是一种剧毒、有腐蚀性、不燃烧的充装压力最大1000
psig的气体。强烈的刺激性气味。气体无色但遇潮湿空气生成白烟。遇水水解生成氢氟酸。如果吸入或皮肤接触导致强烈的化学灼伤。进入释放区域戴自吸式放毒面具。大量释放的区域需要完全防护服装。
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