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硅烷混合气(SiH4/Balance) |
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 在70°F(21.1°C)气体压力5.0Mpa；可以按照要求配制其它压力。
可按照要求配制其它比例混合气。
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容器规格
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规格
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容器尺寸 (in.)(cm)
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平均重量 (lbs)(kg)
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平均容积 (ft3)(L)
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200
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3AA2265
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9x51 23x130
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119 54
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1.55 (43.9)
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硅烷在氮气气中
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含量
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气瓶规格
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充装量
(ft3)(L)
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阀门型号
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1.0%
2.0%
3.0%
4.0%
5.0%
10.0%
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200
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77.6 2.2
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CGA350
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硅烷在氢气中
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含量
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气瓶规格
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充装量
(ft3)(L)
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阀门型号
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1.0%
2.0%
3.0%
4.0%
5.0%
10.0%
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200
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77.6 2.2
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CGA350
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硅烷在氩气中
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含量
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气瓶规格
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充装量
(ft3)(L)
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阀门型号
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1.0%
2.0%
3.0%
4.0%
5.0%
10.0%
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200
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77.6 2.2
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CGA350
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安全须知：
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危险本产品为无色、极易燃烧的气体混合物，有令人感觉不适的气味。该产品释放出来的潜在的危险是严重的热灼伤，由于该混合气体中的硅烷气体极易燃；另一种危险就是窒息性。
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